ファンフィルターユニット クリーンユニット プレフィルタ HEPA ULPA 空気清浄度（クリーン度） クラス（清浄度） 換気回数 イエロールーム/イエローブース クリーン暗室 陰圧 陽圧 エアシャワー クリーンウェア パーティクルカウンター コンタミ 乱流 層流 グレーチング ICR BCR JIS B9920 ISO 14644-1 USA Fed.Std.209E
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