換気回数は、クリーンルームやクリーンブースの性能を示す指標です。1時間にブース内の空気が入れ替わる回数を換気回数と呼んでいます。例えば、クリーンブースの体積が、2mx2mx2m=8m3で、FFUの風量が、10m3/分だった場合、10x60/8=75回になります。この換気回数が多いほどよりクリーン度の高いクリーン環境だと言えます。 関連コラム パーティクルカウンター(微粒子計測器)入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程(後工程) クリーンベンチとは(基礎知識)