JIS B9920は、「クリーンルームの空気清浄度の評価方法」を表した規格です。 内容は、ISO 14644-1，Cleanrooms and associated controlledenvironments─Part1：Classification of air cleanlinessに示されている清浄度のクラス分けやその評価方法を翻訳したものになっています。 関連ワード ISO 14644-1 USA Fed.Std.209E 関連コラム パーティクルカウンター（微粒子計測器）入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程（後工程） クリーンベンチとは（基礎知識）
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