HEPAとは、High Efficiency Particulate Air Filterの略で、空気中の塵埃を高効率で取り除くエアフィルターです。クリーンルームやクリーンブースのメインフィルタとして利用されています。JIS Z 8122 で捕集率などが規定されています。エアフィルタには、より捕集効果の高いULPAフィルタというものもあります。 関連ワード ファンフィルターユニット プレフィルタ ULPA 関連コラム パーティクルカウンター（微粒子計測器）入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程（後工程） クリーンベンチとは（基礎知識）
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