乱流とは、一方向の流れだけではなく様々な方向に不規則に流れる状態を表します。クリーンルームやクリーンブースでは、図のように方式を乱流式と呼んでいます。一方向だけの流れの場合は、層流と呼ばれ半導体工場などクリーン度の高いクリーンルームで利用されています。 関連ワード 層流 関連コラム パーティクルカウンター(微粒子計測器)入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程(後工程) クリーンベンチとは(基礎知識)