プレフィルタとは、メインフィルタの前に設置されているフィルタのことです。 FFUでは、プレフィルタであらかじめ大きな浮遊性塵埃を除去し、メインフィルタの目詰まり防止や性能低下を防いでいます。 関連ワード ファンフィルターユニット HEPA ULPA 関連コラム パーティクルカウンター(微粒子計測器)入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程(後工程) クリーンベンチとは(基礎知識)