用語集

パーティクルカウンター

パーティクルカウンターとは、空気中に浮遊する微粒子を計測しクリーン度を測定する計測器です。クリーンルームの管理に使われ、据え置き型とハンドヘルド型があります。
パーティクルカウンターについて詳しくは、「パーティクルカウンター（微粒子計測器）入門」をご覧ください。