層流とは、一方向だけの流れの状態を表します。クリーンルームでは図のような状態を層流式と呼んでいます。クリーン度のクラスが1から100までの半導体工場などで利用されている気流の方式です。層流式のクリーンルームの床は、グレーチングになっています。一般的なクリーンルームやクリーンブースでは、気流の方式が乱流式になっています。 関連ワード 乱流 関連コラム パーティクルカウンター（微粒子計測器）入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程（後工程） クリーンベンチとは（基礎知識）
0120-747-636
