ISO 14644-1は、クリーンルームの空気清浄度の評価方法を表した国際的な規格です。英文のタイトルは、「Cleanrooms and associated controlled environments─Part1: Classification of air cleanliness」です。 日本語に翻訳された規格は、JIS B9920、「クリーンルームの空気清浄度の評価方法」です。 関連ワード JIS B9920 USA Fed.Std.209E 関連コラム パーティクルカウンター（微粒子計測器）入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程（後工程） クリーンベンチとは（基礎知識）
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