USA Fed.Std.209Eは、クリーンルームの清浄度を表したアメリカの連邦規格です。 現在は、廃止された規格ですが、クラス100やクラス1000など永らく基準として使用されていたため、現在でも併用されています。 関連ワード JIS B9920 ISO 14644-1 関連コラム パーティクルカウンター(微粒子計測器)入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程(後工程) クリーンベンチとは(基礎知識)