クリーンユニットとは、清浄な空気を供給する装置です。ファンフィルターユニット(FFU)とも呼ばれています。 関連ワード ファンフィルターユニット プレフィルタ HEPA ULPA 関連コラム パーティクルカウンター(微粒子計測器)入門 クリーンルーム・クリーンブースの管理やメンテナンス方法 半導体の製造工程(後工程) クリーンベンチとは(基礎知識)