機器組込み型高圧電源(モジュールタイプ高圧電源)のセレクションチャートページです。
機器組込み実装が可能な、コネクタやケーブル入出力タイプのDC-DC高電圧モジュール(一部にAC-DC高電圧モジュール有り)を紹介しています。
松定プレシジョンでは、50kVまでの汎用タイプ組込み型高圧電源モジュールや、質量分析(MASS)や電子顕微鏡(SEM)、電子ビーム・イオンビーム装置に最適な分析装置用の低リップル・高安定タイプの高圧電源モジュール、X線管用、PMT用の高圧電源モジュールをライナップしております。
汎用タイプ(ローパワータイプ)
シリーズ |
HVR/HVL |
HPMQ |
HV |
HPMR |
HSR/HSL |
HPSM |
HQ/HC |
HQR/HQL |
HMAS |
HP |
HSEM |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
I/O比例 |
I/O比例
入力電圧により出力電圧を制御可能 (制御系が1つですみます。) |
I/O比例
入力電圧により出力電圧を制御可能 (制御系が1つですみます。) |
I/O比例
入力電圧により出力電圧を制御可能 (制御系が1つですみます。) |
||||||||
出力電力 | 1.5W | 2W | 2.5~3W | 2.5~6W | 3W | 3W, 5W | 6W | 6W | 7.5~10W | 9~12.5W | 10W |
極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 |
0.1kV | 0.1kV | ||||||||||
0.2kV | 0.2kV | ||||||||||
0.3kV | 0.3kV | 0.3kV | 0.3kV | 0.3kV | 0.3kV | ||||||
0.5kV | 0.5kV | 0.5kV | |||||||||
0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | ||||
1kV | 1kV | 1kV | 1kV | 1kV | 1kV | ||||||
1.1kV | 1.1kV | 1.1kV | 1.1kV | 1.1kV | 1.1kV | 1.1kV | |||||
1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | ||
2kV | 2kV | 2kV | 2kV | 2kV | 2kV | 2kV | 2kV | 2kV | 2kV | ||
2.5kV | 2.5kV | ||||||||||
3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | |||
5kV | 5kV | 5kV | 5kV | 5kV | 5kV | 5kV | 5kV | ||||
6kV | 6kV | 6kV | 6kV | 6kV | 6kV | 6kV | 6kV | ||||
10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | |||
12kV | 12kV | 12kV | 12kV | ||||||||
15kV | 15kV | 15kV | 15kV | 15kV | 15kV | 15kV | |||||
20kV | 20kV | 20kV | 20kV | ||||||||
25kV | 25kV | 25kV | 25kV | 25kV | 25kV | ||||||
30kV | 30kV | 30kV | 30kV | ||||||||
特長 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | ||||
超低リップル | 低リップル | 超低リップル | 超低リップル | 低リップル | 低リップル | 低リップル | 超低リップル | ||||
アナログ制御 | アナログ制御 | アナログ制御 | |||||||||
用途 | MASS | MASS | MASS | MASS | MASS | MASS | MASS | MASS | MASS | MASS | |
電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | |||||
PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | ||
電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム描画装置 | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | |
イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | ||
放射線計測 | 放射線計測 | 放射線計測 | 放射線計測 | 放射線計測 | 放射線計測 | 放射線計測 | 放射線計測 | ||||
静電チャック (E-chuck) |
静電チャック (E-chuck) |
静電チャック (E-chuck) |
静電チャック (E-chuck) |
静電チャック (E-chuck) |
静電チャック (E-chuck) |
||||||
リップル | 0.005%~0.05%(p-p) | 1mV(p-p)(最小) | 0.05%~0.15% (p-p) |
2mV(p-p)(最小) | 0.005%~0.05%(p-p) | 1.5mV(p-p) | 0.05%~0.2% (p-p) |
0.008%~0.05%(p-p) | 10mV(p-p)(最小) | 0.08%(p-p) | 0.001%(p-p) |
シリーズ |
HVR/HVL |
HPMQ |
HV |
HPMR |
HSR/HSL |
HPSM |
HQ/HC |
HQR/HQL |
HMAS |
HP |
HSEM |
汎用タイプ(ハイパワータイプ)
シリーズ |
HFSS |
HFR/HGR |
HPR/HPL |
HWR/HWL |
HUNS |
HGP |
HUNA |
---|---|---|---|---|---|---|---|
出力電力 | 5W, 10W, 30W | 5~60W | 15W | 30W | 115~350W | 125W, 250W | 0.15~1.2kW |
極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 |
0.3kV | 0.3kV | 0.3kV | |||||
0.5kV | 0.5kV | ||||||
0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | 0.6kV | |||
1kV | 1kV | 1kV | 1kV | 1kV | 1kV | ||
1.1kV | 1.1kV | 1.1kV | |||||
1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | 1.5kV | |
2kV | 2kV | 2kV | |||||
3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV | 3kV |
4kV | 4kV | ||||||
5kV | 5kV | 5kV | 5kV | 5kV | |||
6kV | 6kV | 6kV | 6kV | 6kV | 6kV | ||
10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV |
12kV | 12kV | 12kV | |||||
15kV | 15kV | 15kV | 15kV | 15kV | 15kV | ||
20kV | 20kV | 20kV | 20kV | 20kV | 20kV | 20kV | 20kV |
25kV | 25kV | 25kV | 25kV | 25kV | |||
30kV | 30kV | 30kV | 30kV | 30kV | 30kV | 30kV | |
33kV | 33kV | ||||||
35kV | 35kV | ||||||
40kV | 40kV | 40kV | 40kV | ||||
50kV | 50kV | ||||||
特長 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | 高安定 | ||
アナログ制御 | アナログ制御 | アナログ制御 | アナログ制御 | デジタル制御 | アナログ制御 | デジタル制御 | |
※信頼性重視設計
アーク放電、連続出力短絡保護 による信頼性重視設計 |
※信頼性重視設計
アーク放電、連続出力短絡保護 による信頼性重視設計 |
※信頼性重視設計
アーク放電、連続出力短絡保護 による信頼性重視設計 アーク放電、連続出力短絡保護 による信頼性重視設計 |
※信頼性重視設計
アーク放電、連続出力短絡保護 による信頼性重視設計 |
※信頼性重視設計
アーク放電、連続出力短絡保護 による信頼性重視設計 |
|||
用途 | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | PMT/MCP | |||
電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | |||
イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | ||||
放射線計測 | 放射線計測 | 放射線計測 | |||||
コンデンサ充電 | コンデンサ充電 | コンデンサ充電 | |||||
MASS | MASS | MASS | |||||
静電チャック (E-chuck) |
静電チャック (E-chuck) |
静電チャック (E-chuck) |
|||||
ATE(自動検査装置) | ATE(自動検査装置) | ||||||
電気泳動 | 電気泳動 | ||||||
X線装置 | X線装置 | ||||||
耐圧試験 | |||||||
リップル | 10ppm(p-p) | 0.001%~0.08% (p-p) | 0.01%~0.5%(p-p) | 0.03%~0.5%(p-p) | 0.2%~0.5% p-p | 1.0V(p-p)未満 | 0.2%rms |
シリーズ |
HFSS |
HFR/HGR |
HPR/HPL |
HWR/HWL |
HUNS |
HGP |
HUNA |
※1アーク放電、連続出力短絡保護による信頼性重視設計
分析装置用低リップル・高安定タイプ
シリーズ |
HMAS-FR |
HMBR-R(3W) |
HMBR |
HMASS-R |
HMASS |
HMBR-R(12W) |
---|---|---|---|---|---|---|
出力電力 | 1~2W | 3W | 7W | 7.5~10W | 7.5~12W | 12W |
極性 | 両極性 | 両極性 | 片極性 | 両極性 | 片極性 | 両極性 |
1kV | ±1kV | |||||
2kV | ±2kV | |||||
3kV | ±3kV | 3kV | ||||
5kV | ±5kV | ±5kV | 5kV | |||
10kV | ±10kV | ±10kV | 10kV | ±10kV | 10kV | ±10kV |
15kV | 15kV | ±15kV | ||||
20kV | 20kV | ±20kV | 20kV | ±20kV | ||
30kV | 30kV | ±30kV | 30kV | ±30kV | ||
特長 | 高安定度 10ppm/5min | 高安定度 0.001%/5min | 高安定度 10ppm/Hr | 高安定度 10ppm/H | 高安定度 10ppm/5min | |
TTL(外部信号により出力極性を切替え可能) | TTL(外部信号により出力極性を切替え可能) | TTL(外部信号により出力極性を切替え可能) | TTL(外部信号により出力極性を切替え可能) | |||
用途 | 質量分析 (MASS) |
質量分析 (MASS) |
質量分析 (MASS) |
質量分析 (MASS) |
質量分析 (MASS) |
質量分析 (MASS) |
電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | 電子顕微鏡 | |
電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | 電子ビーム | ||
イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | イオンビーム | ||
電気泳動 | 電気泳動 | 電気泳動 | ||||
リップル | 500mV(p-p) | 10mV(p-p) | 100~300mV(p-p) | 15mV(p-p) | 2~50mV(p-p) | 70mV(p-p) |
シリーズ |
HMAS-FR |
HMBR-R(3W) |
HMBR |
HMASS-R |
HMASS |
HMBR-R(12W) |
X線管電源用
シリーズ |
HXRR |
HXRT |
HXR |
---|---|---|---|
出力電力 | 50W | 100W | 50~100W |
30kV | 30kV | ||
50kV | 50kV | 50kV | 50kV |
60kV | 60kV | ||
65kV | 65kV | ||
特長 | 陰極設置型X線管用 | 陰極設置型X線管用 | 陰極設置型X線管用 |
可変型フィラメント出力 | 可変型フィラメント出力 | 可変型フィラメント出力 | |
過電圧、負荷短絡保護 | 過電圧、負荷短絡保護 | 過電圧、負荷短絡保護 | |
低管電圧時のフィラメント保護 | 低管電圧時のフィラメント保護 | ||
インターロック | インターロック | インターロック | |
用途 | 調整可能なビーム | 調整可能なビーム | |
バイアス出力、フィラメント出力 | バイアス出力、フィラメント出力 | ||
X線管の寿命を延ばす | |||
リップル | 0.05%(p-p) | 0.05%(p-p) | 0.2%(p-p) |
フォトマル(PMT)ソケットタイプ
シリーズ | HPMC | HPMA | HPMS | |||
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イメージ (型名) |
HPMC-1N-L2B | HPMA-1NS-L2B | HPMA-1N-L2B | HPMS-1N | HPMS-1N-L2B | HPMS-1.25N/1.8N |
出力電圧 | -1kV | 0~-1.25kVdc 0~-1.8kVdc |
||||
リップル | 1mVP-P以下 | 100mVP-P以下 | ||||
サイズ | 32φ×38L(mm) | 30φ×61L(mm) | 35φ×53L(mm) | 30φ×61L(mm) | 44φ×57L(mm) | |
特徴 | φ28mm(1-1/8in.) サイドオン型PMT対応 |
φ28mm(1-1/8in.) サイドオン型PMT対応 |
φ28mm(1-1/8in.) サイドオン型PMT対応 |
φ28mm(1-1/8in.) サイドオン型PMT対応 |
φ28mm(1-1/8in.) サイドオン型PMT対応 |
φ38mm(1-1/2in.) ヘッドオン型PMT対応 |
低消費電力 | ||||||
高圧電源、CW回路、ソケット一体型 | 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型 | 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型 | 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型 | 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型 | 高圧電源、ブリーダ抵抗、ソケット一体型 | |
高リニアリティ | 高リニアリティ | 高リニアリティ | ||||
低リップル | 低リップル | 低リップル | ||||
電圧モニタ、フランジ付 | 電圧モニタ、フランジ付 | 電圧モニタ、フランジ付 | 電圧モニタ、フランジ付 | 電圧モニタ、フランジ付 | ||
外部コントロール電圧による可変 | 外部コントロール電圧による可変 | 外部コントロール電圧による可変 | ||||
適合PMT | Hamamatsu R 928 | Hamamatsu R 980 (HPMS-1.25N) Hamamatsu R 580 (HPMS-1.8N) |
専用タイプ
シリーズ |
HSUR |
HMB |
HCZ |
MF |
MDCF |
MDC |
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用途 | 電子写真プロセス、プリンタ等の実験・研究 | 走査型電子顕微鏡(SEM)用電源 | キャピラリー電気泳動専用 | 質量分析装置(TOFMS)の検出器用高圧電源 | フローティングフィラメント電源(電子銃やSEM、MASS) | フローティング電力供給 |
特長 | 定電流タイプ | 高安定度、低リップル | 高信頼設計・保護回路 | 最大30kVフローティング可能 | 30kVの高絶縁耐圧 | 15kVの高絶縁耐圧 |
出力電力 | 0.1~6W | 9W | 9W | 4W | 37.5W | 12~48W |
極性 | 片極性 | 片極性 | 両極性 | 片極性 | 片極性 | 片極性 |
7.5 V | 7.5V | |||||
24 V | 24V | |||||
1.5kV | 1.5kV | |||||
3kV | 3kV | |||||
4kV | 4kV | |||||
6kV | 6kV | |||||
10kV | 10kV | |||||
15kV | -15kV | |||||
30kV | -30kV | ±30kV |