0120-747-636静電チャックとは、静電気でものが引き合うような電気的な力を用いてワークを吸着し、固定（チャック）するものです。
ワークを静電チャックに載せた状態で、チャックの内部電極にプラスとマイナスの電圧を印加すると、ワークの中の電荷が内部電極と引き合うように移動します。これにより電極とワークの間にクーロン力が発生し、ワークがチャックに吸着されます。
静電チャックは吸着方式の違いによって、2つの種類に分けられます。1つは誘電体として絶縁材料を使用するクーロン力型。もう1つは、対象物と誘電体との界面の小さなギャップに微少電流が流れ、帯電分極して誘起されるジョンソン・ラベック力型です。
静電チャックは物理的な拘束を行わないため、金属箔やフィルムのような非常に繊細なワークを把持するのに適しています。そのため半導体製造装置などでウエハを搬送する際のチャックなどに使用されています。
松定プレシジョンでは静電チャック用の高圧電源装置を取り扱っています。クーロン力を利用した静電チャックでも、ジョンソン・ラベック力を利用した静電チャックでも、どちらにも対応したラインナップを取り揃えています。
静電チャックの用途:
- 半導体製造装置
- 露光装置、フォトリソグラフィ（Photolithography）
- 半導体ウエハ搬送
- 化学気相成長（Chemical Vapor Deposition、CVD）
- プラズマCVD（Plasma Enhanced CVD、 PECVD）
- 誘導結合プラズマCVD（Inductively Coupled Plasma CVD、ICPCVD)
- イオンビーム蒸着（Ion Beam Deposition、IBD）
- 原子層堆積（Atomic Layer Deposition、ALD）
- ドライエッチング（Dry Etching）
- プラズマエッチング（Plasma Etching）
- 反応性イオンエッチング（Reactive-ion Etching、RIE）
- 原子層エッチング（Atomic Layer Etching、ALE）
- フラットパネル搬送
- 関連ワード：
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- 静電チャック
- クーロン力
- ジョンソン・ラベック力
- ウエハ搬送
- 半導体製造装置
- 半導体
- 吸着
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静電チャック用の高圧電源装置を取り扱っています。クーロン力を利用した静電チャックでも、ジョンソン・ラベック力を利用した静電チャックでも、どちらにも対応したラインナップを取り揃えています。
