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  • HES/HESSシリーズ｜高圧電源 ラックマウント｜松定プレシジョン
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走査電子顕微鏡(SEM)、
半導体テスト装置用電源

超低リップル、高安定度

  • 出力電圧：5～30kV
  • 出力電流：0.5～6mA
  • 出力電力：15～30W
  • 超低リップル・高安定度

SEM、半導体テスト装置用電源

HESSシリーズは、「リップル」「温度係数」「安定度」いずれも最高の性能を追求して開発されたSEM、半導体テスト装置用超高性能高圧電源です。
松定プレシジョンが創業以来30年以上に渡って培ってきたノウハウと最新技術の粋を集め、世界最高クラスの性能を実現しました。また、性能だけでなく機能面でも電圧・電流モニタを標準装備し、添付の光ファイバーケーブルと光変換モジュールによるRS-232Cでデジタル制御も可能にしています。

特長

  • 超低リップル、超高安定度
  • 低い温度係数（25ppm/℃、10ppm/℃以下も可）
  • 電圧・電流モニタ付
  • RS-232Cによる光絶縁リモート制御が可能

用途

ラインナップ

モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HESS-5P3 5kV 3mA 10mVp-p 購入前 購入後
HESS-5P6 6mA 10mVp-p 購入前 購入後
HESS-10P1.5 10kV 1.5mA 20mVp-p 購入前 購入後
HESS-10P3 3mA 20mVp-p 購入前 購入後
HESS-15P1 15kV 1mA 30mVp-p 購入前 購入後
HESS-15P2 2mA 30mVp-p 購入前 購入後
HESS-30P0.5 30kV 0.5mA 50mVp-p 購入前 購入後
HESS-30P1 1mA 50mVp-p 購入前 購入後
モデル 最大出力 お問い合わせ
電圧 [kV] 電流 [mA] リップル [mVp-p]
HESS-5N3 -5kV 3mA 10mVp-p 購入前 購入後
HESS-5N6 6mA 10mVp-p 購入前 購入後
HESS-10N1.5 -10kV 1.5mA 20mVp-p 購入前 購入後
HESS-10N3 3mA 20mVp-p 購入前 購入後
HESS-15N1 -15kV 1mA 30mVp-p 購入前 購入後
HESS-15N2 2mA 30mVp-p 購入前 購入後
HESS-30N0.5 -30kV 0.5mA 50mVp-p 購入前 購入後
HESS-30N1 1mA 50mVp-p 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

外形寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

別売品

電源/電子負荷用シーケンスソフトウェア

PSS2シリーズ
PSS2は、簡単な設定で松定プレシジョン製の各種電源や電子負荷、電源用デジタルコントローラをシーケンス動作させることができる専用ソフトです。電子部品のエージング試験やバーンイン試験、耐電圧試験、自動車電装品の耐久試験、断続/連続動作試験や各種シミュレーション試験などに最適です。
詳しくは、製品ページをご確認ください。

PSS2｜電源用シーケンスソフトウェア｜松定プレシジョン

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