0120-747-636
2ch出力ユニット型、ウエハセンシング機能搭載
静電チャック専用に開発された高圧電源です。極性切替や強制接地の機能はもちろん、ウエハのチャック状態をモニタリングしたいというニーズにも対応したモデルです。幅広い電圧ラインナップで、クーロン力型、ジャンセン・ラーベック力型のどちらにも対応可能です。
特長
- ハーフラックサイズのコンパクト設計
- 極性反転機能によるスムーズなデチャックでスループットを向上
- ウェハのチャック状態をモニタリングできるウエハセンシング機能により確実なチャック/デチャックが可能
- アンプ構造を採用。“高速応答”かつ“極性切換時にメカニカルリレーを使用しない長寿命”を実現
- 「2出力(2ch)独立制御(オプション)」や「センタータップ出力(オプション)」で様々なチャック/デチャック条件に対応可能
- デジタルインターフェース[LAN・USB・RS-232C]標準装備
- RFフィルター(ローパスフィルタ)内蔵 (13.56MHz)
- 特注対応可能(4ch,6ch,デジタル制御、出力電圧など)
用途
ラインナップ
| モデル名 | 最大出力 (各ch) | 出力応答時間 (typ) [-90%⇔+90% 無負荷時] |
お問い合わせ | |
|---|---|---|---|---|
| 電圧 [kV] | 電流 [mA] | |||
| HECD-0.5B20×2 | +0.5kV, -0.5kV | 20mA | 10ms | 購入前 購入後 |
| HECD-1B10×2 | +1kV, -1kV | 10mA | 10ms | 購入前 購入後 |
| HECD-1.5B6×2 | +1.5kV, -1.5kV | 6mA | 15ms | 購入前 購入後 |
| HECD-2B5×2 | +2kV, -2kV | 5mA | 20ms | 購入前 購入後 |
| HECD-4B1×2 | +4kV, -4kV | 1mA | 40ms | 購入前 購入後 |
| HECD-4B2.5×2 | +4kV, -4kV | 2.5mA | 40ms | 購入前 購入後 |
| HECD-5B2×2 | +5kV, -5kV | 2mA | 60ms | 購入前 購入後 |
| HECD-7.5B1.2×2 | +7.5kV, -7.5kV | 1.2mA | 90ms | 購入前 購入後 |
最大出力電圧は、センタータップ電圧、バイアス電圧を含む
より高電圧のモデルも製作可能です。こちらからお問い合わせください。
仕様
出力電圧設定特性
使用波形例
その他、仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
オプション
- -LCm
-
微小電流モニタ追加
0～+10V／－1/100 定格出力電流 ～＋1/100 定格出力電流
- -LCt
-
センタータップバイアス
0～±(最大出力電圧－設定出力電圧)
- -LEc
-
イーサキャットインターフェース
(LAN・USB・RS-232Cは使えません)
- -LSep
-
2出力 独立制御
- -L(AC)
-
AC100V～240V 1Φ入力
- -L(7m)
-
高電圧出力ケーブル 7m長 3本
(-LCtと-LSep選択時には2本)
- -LCtと-LSepは、同時に選択することはできません。
- -LCtと-LSepはセンタータップ端子が無くなります。
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。(アルファベット、出力ケーブルの順につけてください。)
〈例〉HECD-4B1×2-LSep(AC)(7m)
別売品
|
【標準添付】 0.5kV ～ 5kVモデル |
CN-SHV-HVPP(5) （両端SHVプラグ） |
|
5 m ※-L(7m)オプションを選択した場合は CN-SHV-HVPP(7) になります。 |
|---|---|---|---|
|
【標準添付】 7.5kVモデル |
CN-SHV7.5-HVPP(5) （両端SHVプラグ） |
|
5 m |
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
外形寸法
外形・寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
HECDシリーズカタログ
更新日：2024/11/19 rev.10
PDF(2,102 KB)
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
-
HECDシリーズ 取扱説明書
更新日：2024/6/5 rev 0.7
PDF(2,068 KB)
-
HECDシリーズ簡易操作マニュアル
更新日：2024/10/7 rev 0.0
PDF(800KB)
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