マイクロフォーカスX線とは、X線の発生する部分(焦点)のサイズがミクロン単位のX線管のことです。主に工業用途のサンプルを高拡大・高解像度で非破壊にX線透過検査を行う場合に用います。マイクロフォーカスX線管には、密閉式の管と開放式の管があります。また、さらにX線焦点の小さなX線管は、ナノフォーカスX線とも呼ばれています。他にも焦点サイズの違いにより、ミリフォーカスやミニフォーカスと呼ばれているX線管や、医療用にラージフォーカス(大焦点)とスモールフォーカス(小焦点)を切り替えるX線管などもあります。
マイクロフォーカスX線については、コラムにてさらに詳しく紹介しています。「マイクロフォーカスX線とは(基礎知識)」をご参照ください。