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  • HEBシリーズ|高圧電源 ラックマウント|松定プレシジョン
  • HEBシリーズ|高圧電源 ラックマウント|松定プレシジョン

走査電子顕微鏡(SEM)、
電子ビーム用電源

  • 超低リップル
  • 超高安定度
  • 加速電圧
    -10kV~-60kV
  • 各チャンネルを個別に選択可能

電子線用多出力高圧電源

特長

  • 超低リップル、超高安定度、最大4ch、フローティング可。さらに電源を追加した特注対応可。
  • 低い温度係数(25ppm/℃、10ppm/℃も可)
  • フローティング電源:それぞれ 外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • グラウンド電源:外部コントロール、電圧・電流モニタ付
  • RS-232Cでのデジタル制御可能 (LAN、USB、RS-485、GPIBの対応も可能)
  • -160kVまでの加速電圧対応可能
  • カスタムオプション対応可能
  • 160kVまでさまざまな電圧にも対応可能

用途

  • 走査電子顕微鏡(SEM)
  • 測長SEM(CD-SEM)
  • 電子ビーム描画装置
  • オージェ電子分光装置
  • 電子銃
  • マイクロフォーカスX線

ラインナップ

モデル Ch. Name Reference level 出力 お問い合わせ
電圧 電流
HEBシリーズ filament Acceralator +2V,+5V,+6V,+8V 3A,5A 購入前 購入後
suppressor -300V,-600V,-1kV
-2kV
50µA,100µA
extractor -10kV,+5kV,+6.5kV
+7kV,+10kV
500µA,700µA,750μA
1mA,3mA,
Focus +2kV,+5kV,+7kV,+10kV 50μA,100μA,500μA
1000μA
Acceralator Ground Level -10kV,-15kV,-30kV
-40kV,-50kV,-60kV
100μA,250μA,300μA
500μA,700μA,750μA
Focus +30kV 50μA
Grid -10kV 50μA

仕様

仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

オプション

-LFC

フィラメント(ch1)をセンターコモンにします。

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