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  • HJCシリーズ｜静電チャック専用高圧電源 ベンチトップ｜松定プレシジョン
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静電チャック用高圧電源

  • ±1kV～±5kV
  • 6W、30W

単出力・ハンディ型　バイポーラタイプ高圧電源

HJCシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。
±1kV～±5kVまで幅広いラインナップによりジョンソン・ラーベック力、クーロン力どちらにも対応しております。

特長

  • ハーフラックタイプで省スペースに貢献
  • アンプ構造による高速応答
  • リレーを使用しない高信頼・長寿命
  • 静電チャック専用設計
  • アンプ構造による高速応答（極性反転時間 100ms…無負荷）
  • 両極性出力
  • RFフィルタ内蔵可能（オプション）
  • リレーを使わないので高信頼、長寿命

ラインナップ

モデル名 出力 お問い合わせ
電圧[kV] 電流[mA]
HJC-1B6 -1kV～+1kV 6mA 購入前 購入後
HJC-1B30 30mA 購入前 購入後
HJC-2B3 -2kV～+2kV 3mA 購入前 購入後
HJC-2B15 15mA 購入前 購入後
HJC-3B2 -3kV～+3kV 2mA 購入前 購入後
HJC-3B10 10mA 購入前 購入後
HJC-4B1.5 -4kV～+4kV 1.5mA 購入前 購入後
HJC-4B7.5 7.5mA 購入前 購入後
HJC-5B1.2 -5kV～+5kV 1.2mA 購入前 購入後
HJC-5B6 6mA 購入前 購入後

仕様

一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

使用波形例

高圧電源HJCシリーズ・使用波形例

オプション

-LB

保護カバー
パワースイッチ、HVスイッチに保護カバーがつきます。

-LPo

極性切替
ローカル：トグルスイッチ
リモート：接点入力

-LRf（500k）

RFフィルタ
500kHz

-LRf（13.56M）

RFフィルタ
13.56MHz

-LRy

出力リレー
外部信号により電源と負荷を電気的に切り離します。

-L（7m）

出力高圧ケーブル
7m長 1本

  • RFフィルタの周波数は広い範囲で対応可能です。ご相談ください。
  • -LRf(500k)と-LRf(13.56M)は同時に選択することはできません。
  • -LRyオプション（出力リレー）と-LRfオプション（RFフィルタ）を同時に装着することはできません。
  • 片極タイプも製作可能です。

ご発注方法

ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。アルファベット、ケーブル長順） 〈例〉HJC-1B6-LBPoRf（13.56M）Ry（7m）

別売品

入力ケーブル ※
【標準添付】 CABLE TYPE1 CABLEシリーズ CABLEシリーズ 125 V / 10 A 2.5 m
固定長

※200V入力でご使用の際はCABLE TYPE3を別途ご購入ください。

出力ケーブル
【標準添付】
1kV～5kVモデル		 CN-BNC-HVPP(5)※ CN-BNC-HVPP (5)
両端MHV 		5m長
長さ指定可能

※標準は“(5)”、-L(7m)選択時は“(7)”になります。

外形・寸法

外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。

ダウンロード

ダウンロードできない場合の解決方法

ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

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