検索中...

  • HECGシリーズ|静電チャック専用高圧電源 ラックマウント|松定プレシジョン
  • HECGシリーズ|静電チャック専用高圧電源 ラックマウント|松定プレシジョン

販売終了

静電チャック専用電源

ゼロクロスのバイポーラ出力も可能な静電チャック専用電源

  • -1kV~+1kV
  • ±10W

単出力タイプ・ラックマウント リバースタイプ型高圧電源

HECG-1B10は静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。フロントパネル上のスイッチまたは接点信号により、極性を反転できる他、外部コントロール電圧によりゼロクロスのバイポーラ出力も可能です。

特長・概要

  • 静電チャック専用設計
  • 極性切替は電子式で高速応答も可能(極性反転時間 100ms…無負荷)
  • 両極性出力
  • リレーを使用していないので高信頼、長寿命

ラインナップ

モデル 出力電圧 出力電流 お問い合わせ
HECG-1B10 -1kV~+1kV 10mA 購入前 購入後

ダウンロード

ダウンロードできない場合の解決方法

ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。

  1. Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
  2. WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
  3. ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
  4. パソコンを再起動し、再度お試しください。
  5. 別のパソコンで、再度お試しください。

ダウンロードには会員登録が必要です。

本サイトでは、取扱説明書等の資料は全て最新版のみを公開しています。お持ちの製品によっては資料の版が異なる場合もありますのでご了承ください。

未登録の方はこちら

新規会員登録(無料)

会員の方はこちら

ログイン

電源装置

電源装置に関する製品を探す