0120-747-636
単出力タイプ・ラックマウント リバースタイプ型高圧電源
HECG-1B10は静電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。フロントパネル上のスイッチまたは接点信号により、極性を反転できる他、外部コントロール電圧によりゼロクロスのバイポーラ出力も可能です。
特長・概要
- 静電チャック専用設計
- 極性切替は電子式で高速応答も可能（極性反転時間 100ms…無負荷）
- 両極性出力
- リレーを使用していないので高信頼、長寿命
ラインナップ
| モデル | 出力電圧 | 出力電流 | お問い合わせ |
|---|---|---|---|
| HECG-1B10 | -1kV～+1kV | 10mA | 購入前 購入後 |
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静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
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高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
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