0120-747-636
静電チャック専用として開発された高圧電源
HCUシリーズは、静電チャック専用として開発された高圧電源です。
DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハやガラス基板を剥離させることも可能なため、確実な吸着とタクトタイムの短縮を実現します。
概要
- 静電チャック専用設計
- ＋、－2出力タイプ
- 極性反転機能、強制接地機能によるスムーズな剥離
- RFフィルタ内蔵
- ローカル、リモート、RS-232Cで操作可能
ラインナップ
| モデル名 | 出力 | お問い合わせ | |
|---|---|---|---|
| 電圧[kV] | 電流[mA] | ||
| HCU-0.5PN10(R) | 0～+0.5kV/0～-0.5kV | 10mA | 購入前 購入後 |
| HCU-1PN3(R) | 0～+1kV/0～-1kV | 3mA | 購入前 購入後 |
| HCU-1.5PN2(R) | 0～+1.5kV/0～-1.5kV | 2mA | 購入前 購入後 |
| HCU-2PN1(R) | 0～+2kV/0～-2kV | 1mA | 購入前 購入後 |
| HCU-2PN3(R) | 0～+2kV/0～-2kV | 3mA | 購入前 購入後 |
| HCU-4PN1(R) | 0～+4kV/0～-4kV | 1mA | 購入前 購入後 |
| HCU-5PN2(R) | 0～+5kV/0～-5kV | 2mA | 購入前 購入後 |
仕様
一般仕様については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
使用波形例
出力電圧設定特性
オプション
- -L（7m）
-
出力高圧ケーブル 7m長 2本
ご発注方法
ご発注時は、上記のオプション記号を型名の後につけてください。
〈例〉HCU-0.5PN10（R）-L（7m）
外形寸法
外形寸法については、こちらよりカタログをダウンロードし、ご参照ください。
ダウンロード
ダウンロードできない場合の解決方法
ダウンロードできない場合、以下の方法をお試しください。
- Ctrl+F5を押下し、WEBブラウザのキャッシュをクリアして、お試しください。
- WEBブラウザを再起動のうえ再ログインして、お試しください。
- ご利用のWEBブラウザを変更して、お試しください。
- パソコンを再起動し、再度お試しください。
- 別のパソコンで、再度お試しください。
-
静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
PDF(5,281KB)
-
高圧電源の正しい使い方
更新日：2023/07/27 Rev.06
PDF(871KB)
-
HCUシリーズ取扱説明書
PDF(1,060KB)
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静電チャック専用高圧電源カタログ
更新日：2023/7/27 rev.14
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HCUシリーズ取扱説明書
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