HEPAフィルタ

HEPAとは、High Efficiency Particulate Air Filterの略で、空気中の塵埃を高効率で取り除くエアフィルターです。
クリーンルームやクリーンブースのメインフィルタとして利用されています。
JIS Z 8122 で捕集率などが規定されています。エアフィルタには、より捕集効果の高いULPAフィルタというものもあります。

クリーンルーム/クリーンブースに関する用語