蛍光X線（XRF）

試料に強いX線を照射すると連続X線と特性X線が放出されます。連続X線とは、X線の波長とX線の強さが連続的なスペクトルを形成するX線です。一方で特定の波長のみ強くなるX線を特性X線といいます。

特性X線の中でも、X線が試料に当たった際に、試料を構成する元素内の電子が励起され、それにともなって発生したものを蛍光X線と呼びます。原子構造は元素によって異なるため、蛍光X線は元素によって固有のエネルギーを持っています。
そのため、蛍光X線の波長と強さを計数することで、元素の定量・定性分析が行えます。液中に微量濃度で存在する物質の微量分析も可能です。蛍光X線にはエネルギー分散型(EDS、EDX)と波長分散型(WDS、WDX)の2種類があります。エネルギー分解能の定義は検出器のタイプによって変わります。

蛍光X線を得る際、試料にX線を照射するためにX線管を用います。X線管は、フィラメントを加熱して発生した熱電子を高電圧で加速させてターゲットに衝突させX線を発生させます。この試料に照射するX線を１次X線と呼び、試料から発生した蛍光X線を２次X線と呼んだりします。
一方、電子顕微鏡で使用するX線分析装置は、励起源に電子線を使用するので蛍光X線と呼ばず"エネルギー分散型X線分析（EDS、EDX）"や"波長分散型X線分析（WDS,WDX,EPMA（電子線マイクロアナライザ））"と呼びます。

松定プレシジョンでは、X線管で使用する電源蛍光X線分析用X線管に使用する高電圧電源を多数取りそろえています。