FABガン

FABガンとは、Fast Atom Beamガンの略称で、半導体ウェーハの常温接合に使用される高速原子ビームの発生装置です。高速原子ビームは、従来のアルゴンイオンガンに比べてエネルギーが高く酸化膜を強力に除去できます。FABを使用した装置は、常温ウェーハ接合/表面活性化接合（SAB）装置と呼ばれています。

常温ウェーハ接合/表面活性化接合（SAB）装置については、こちら

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